Fizeau-interferometri on eräänlainen monisäteinen interferometri , jossa häiriöitä esiintyy kahden heijastavan pinnan välillä. Fizeau-interferometriä kutsutaan usein interferometriksi , jolla on yhteinen valonsäteiden reitti, koska säteet etenevät yhdessä referenssipintaan asti (puoliläpinäkyvälle).
Sitä käytetään pääasiassa optisten osien ja optisten järjestelmien valmistuspintojen tarkkuuden ohjaamiseen.
Fizeau-interferometrejä tasaisten pintojen testaamiseen valmistettiin teollisesti Neuvostoliitossa : IIP-15, IT-40, IT-70 IT-100, IT-200; ja kuperien pintojen ohjaukseen KYU-153, KYu-210, KYu-211 sekä yleisinterferometriin IKD-110 [1] - jonka avulla voit ohjata sekä tasaisia että kuperia ja koveria pintoja. Tällä hetkellä Venäjällä valmistetaan FTI-100-interferometriä [2] , joka on varustettu vaihesiirtojärjestelmällä interferogrammien tallentamiseen sekä interferometrillä tasaisten pintojen seurantaan M200 [3] .
Jos referenssi- ja ohjattu pinta peitetään peilikerroksella, jonka heijastuskerroin on noin 80–90 %, niin kahden säteen häiriökuvion sijaan saadaan kontrastiltaan suuri monisädehäiriökuvio.
Koherentin säteilyn lähteestä tuleva säteen säde fokusoidaan mikroobjektiivilla ja muunnetaan divergentiksi säteeksi, joka säteenjakajan läpi kulkiessaan kollimoituvan objektiivin avulla muunnetaan yhdensuuntaiseksi säteeksi. Mikroobjektin fokukseen asetetaan usein neulanreikä, joka spatiaalisen taajuussuodattimena parantaa säteen tasaisuutta.
Tasaisten ja kuperoiden pintojen ohjaamiseen käytetään referenssikiinnikkeitä, jotka ovat linssi, jonka viimeinen vakiopinta on samankeskinen polttopisteensä kanssa. Vertailukiinnike asennetaan kollimoivan objektiivin taakse ja testattava pinta referenssikiinnikkeen taakse siten, että sen kaarevuuskeskipiste osuu vertailuobjektiivin polttopisteeseen.
Tasaisten pintojen testaamiseen käytetään referenssinä kiilan muotoista levyä, testattavaan pintaan päin oleva pinta on vertailupinta.
Vertailu- ja ohjatut pinnat on asetettu siten, että interferometrissä varmistetaan säteiden autokollimaatioreitti. Käänteisessä suunnassa standardista ja kontrolloidusta pinnasta heijastuneet säteet palaavat takaisin kollimoivan linssin läpi ja muodostavat säteenjakajasta (läpinäkyvästä peilistä) heijastuneena interferenssikuvion tasapaksuisista juovista tason kanssa optisesti konjugoituun tasoon. valvotusta pinnasta.