Ioni-molekyylikerrostus
Ionimolekyylikerrostus on yksi menetelmistä nanokerrosten kerroksittain syntetisoimiseksi substraatin pinnalla käyttämällä reagensseina liuosten ioneja (kationeja tai anioneja) ja kaasufaasista peräisin olevien haihtuvien aineiden molekyylejä. Menetelmän ehdotti prof. V. P. Tolstoi ja perusteli kokeellisesti työssään kollegoiden kanssa Pietarin valtionyliopiston laboratoriossa. Englanninkielisessä kirjallisuudessa menetelmää kutsutaan Ionic Layer Gas Reaction (ILGAR) -kaasureaktioksi, ja sitä käytetään aurinkokennojen, kemiallisten virtalähteiden elektrodien jne. luomiseen.
Kirjallisuus
- Tolstoi V.P., Bogdanova L.P. Teräksen pinnan fosfatointimenetelmä. RF-patentti nro 1475980, etuoikeus päivätty 24.12.86.
- Aleskovsky V. B., Bogdanova L. P., Egorova E. V., Tolstoi V. P. Menetelmä metallioksidien yksikerrosten saamiseksi, Pat. RF 1591534, etuoikeus päivätty 20.6.1988.
- Gulina L. B., Tolstoy V. P. Ag 2 S -nanokerrosten synteesi piidioksidin pinnalla "kerros kerrokselta" -menetelmällä . // Bulletin of St. Petersburg State University . Fysiikka. Kemia. 1999. nro 11. S. 88-91.
- Tolstoi VP, Zhuchkov BS, Murin IV ScF3- , LaF3 - nanokerrosten ja nLaF3 - mScF3 - moninanokerrosten synteesi piin pinnalla peräkkäisellä ionikerrospinnoitusmenetelmällä. // Solid State Ionics. 1997. V. 101-103. s. 165-170.
- Èller J. Mo, Fischer Ch.-H., Mufer H.-J., Ènenkamp RK, Kaiser I., Kelch C., Lux-Steiner MC Uusi kerrostustekniikka yhdistepuolijohteisiin erittäin huokoisille substraateille: ILGAR, Thin Solid Films, 2000, V. 361-362, s. 113-117.
- Gledhill S., Allison R., Allsop N., Fu Y., Kanaki E., Sáez-Araoz R., Lux-Steiner M., Fischer Ch.-H. Suihkutus-ionikerroskaasureaktioprosessin reaktiomekanismi In2S3-ohutkalvojen kerrostamiseksi, Thin Solid Films, 2011, V. 519, 19, 2011, s. 6413.