Plasman lähteet

Plasmalähteet ovat plasman tuottamiseen suunniteltuja laitteita . Plasman luominen vaatii ainakin osittaisen väliaineen neutraalien atomien ja/tai molekyylien ionisoinnin . Tekniikassa käytetään pääsääntöisesti tietyntyyppisiä kaasupurkausta plasman luomiseen .

Korkeapaineisia plasmalähteitä (1000 Pa:sta ilmakehän paineeseen ja harvoin korkeampaan) painetta kutsutaan plasmapolttimiksi tai plasmapolttimiksi. Niissä plasma muodostuu pääsääntöisesti erityisessä purkauskammiossa, jonka läpi plasmaa muodostava kaasu puhalletaan. Yleisimmin käytetty kaari- tai induktiopurkaus . Pienillä tehoilla (jopa useaan kW: iin) ovat myös yleisiä mikroaaltoplasmapolttimet .

Matalapaineen plasmalähteillä ei ole yleistä nimeä, ja ne luokitellaan toimintaperiaatteen mukaan:

• Kaari:
  • kylmä katodi ;
  • lämmitetyllä katodilla ;
  • kaksivaiheinen;
• Perustuu sädeplasmapurkaukseen , erityisesti ontolla katodilla ;
• Induktiivisesti kytketty :
  • kelalla solenoidin muodossa ;
  • litteällä kelalla;
  • perustuu helikonin purkamiseen
• Kapasitiivisesti kytketty
• Perustuu mikroaaltouuniin , mukaan lukien käyttö:
  • elektronisyklotroniresonanssi ;
  • purkaus pinta-aaltoon ;
• Perustuu purkaukseen ristikkäisillä kentillä:
  • Hallin jouset;
  • lähteet anodikerroksella.

Plasmalähteillä on monia sovelluksia, erityisesti valonlähteitä ja materiaalien plasmakäsittelyä .

Katso myös

• Plasmatron
• ionilähde
• Plasmahoito

Kirjallisuus

• Popov OA High Density Plasma Lähteet: suunnittelu, fysiikka ja suorituskyky. - Mill Road, Park Ridge, New Jersey, USA: Noyes Publications, 1995.
• Gabovich MD Plasma-ionien lähteet. - Kiova: Naukova Dumka, 1964. - 224 s.

• Zhukov M.F. Sähkökaarikaasulämmittimet (plasmatronit). - M .: Nauka, 1973. - 232 s.

• Barchenko V.T. Teknologiset tyhjökaariplasmalähteet. - Pietari. : Pietarin sähköteknisen yliopiston kustantamo "LETI", 2013. - 242 s. — ISBN 978-5-7629-1366-9 .

• Aksenov II Tyhjiökaari: plasmalähteet, pinnoitepinnoitus, pinnan modifiointi. - Kiova: Naukova Dumka, 2012. - 727 s.

• Popov VF, Gorin Yu. N. Elektroni-ionitekniikan prosessit ja asennukset. - M . : Korkeampi. koulu, 1988. - 255 s. — ISBN 5-06-001480-0 .

• Vinogradov M.I., Maishev Yu.P. Tyhjiöprosessit ja laitteet ioni- ja elektronisuihkuteknologiaan. - M . : Mashinostroenie, 1989. - 56 s. - ISBN 5-217-00726-5 .