Mikroanturi on laite röntgenspektrimikroanalyysin suorittamiseen (aineen atomikoostumuksen määrittäminen pienessä tilavuudessa).
Mikrosondin toimintaperiaate on seuraava: syntyy elektronisäde , joka kerätään sähkömagneettisten linssien avulla kapeaksi säteeksi - elektronisuihkuksi. Näytteeseen joutuessaan elektronit lyövät elektroneja ulos aineen atomien kuorista ja synnyttävät tunnusomaista röntgensäteilyä . Jokainen elementti säteilee sille ominaisilla taajuuksilla ja voidaan tunnistaa siitä. Alkuainepitoisuudet määritetään säteilyn intensiteetistä.
Tällä hetkellä mikroanturi on yleensä muunnelma pyyhkäisyelektronimikroskoopista , joka on optimoitu röntgenspektrianalyysiin. Siksi useimmat mikrokoettimet voivat suorittaa myös elektronimikroskoopin toimintoja.
Kvantitatiivisen mikrokoettimen analyysin suorittamiseksi näytteen pinta on kiillotettava ja puhdistettava. epäsäännöllisyydet johtavat epätyypilliseen röntgensäteiden sirontaan ja merkittäviin virheisiin alkuaineiden pitoisuuden määrittämisessä. Varauksen kertymisen estämiseksi dielektrisen näytteen pinnalle kerrostetaan ohut johtava kalvo, yleensä hiiltä .