Savin, Viktor Vasilievich
| Viktor Vasilievich Savin | |
|---|---|
| Syntymäaika | 31. toukokuuta 1927 |
| Kuolinpäivämäärä | 3. heinäkuuta 1978 (51-vuotias) |
| Ammatti | NIITM:n ja Elion Plantin johtaja |
| Palkinnot ja palkinnot |
|
Viktor Vasilyevich Savin (1927-1978) - Tekniikan tutkimuslaitoksen ja Elionin tehtaan johtaja (1965-1978), Lenin-palkinnon saaja (1974).
Syntynyt 31.5.1927.
Vuodesta 1964 ja. noin. johtaja, tammikuusta 1965 alkaen Tarkkuustekniikan tutkimuslaitoksen (NIITM) ja Elionin tehtaan (Zelenograd) johtaja.
Johtaessaan loi:
- perusmalliin UVN-70A-1 perustuvat alipaineruiskutuslaitteistot, elektronisuihkulaitteisto ELUM-1 hybridi-IC:iden tuotantoon, laitteistot epitaksiaalisten kerrosten kasvattamiseen, laserlaitteisto mikroelektroniikan tuotteiden käsittelyyn (1966-1967).
- laitesarja "Korund-S" IC:iden massatuotantoon halkaisijaltaan 40 ja 60 mm:n piikiekoilla (1968).
- moniasentoiset, usean reaktorin tyhjiösumutuslaitteet IC-tuotantoon (1969).
- laitteet mikropiirien tuotantoon halkaisijaltaan 76 mm:n kiekoilla (1970).
- alipaineruiskutuslaitteistot elektronisuihku- ja ionijärjestelmillä (1971).
- laitteet IC:ien massatuotantoon (1972-1974).
- korkean suorituskyvyn puoli- ja jatkuvatoimiset alipaineruiskutuslaitteistot, automatisoidut tuotantolinjat fyysisiä ja lämpötoimia varten, plasmakemialliset laitteet (1975-1977).
Teknisten tieteiden kandidaatti.
Kuollut 7.3.1978. Hänet haudattiin Zelenogradin kaupungin hautausmaalle.
Vuonna 1974 hänen panoksestaan Mikroelektroniikan tieteellisen keskuksen organisoinnissa, tieteen ja teollisuuden muodostumisessa ja kehittämisessä Zelenogradissa hänelle myönnettiin Lenin-palkinto osana ryhmää ( K. A. Valiev , G. Ya. Guskov , L. N. Livintsev , A. Yu. Malinin ) [ 1] .