Feature-oriented scanning (OOS, eng. FOS - feature-oriented scanning ) - menetelmä pintatopografian tarkkuusmittaukseen pyyhkäisyanturimikroskoopilla, jossa pinnan piirteet (objektit) toimivat vertailupisteinä mikroskoopin anturin ankkuroinnissa. FOS:n aikana yhdestä pintapiirteestä toiseen viereiseen pintapiirteeseen siirtyessä mitataan piirteiden välinen suhteellinen etäisyys sekä näiden piirteiden lähialueiden kohokuviomittaukset. Kuvatun lähestymistavan avulla voit skannata tietyn alueen pinnalla osissa ja palauttaa sitten koko kuvan saaduista fragmenteista. Edellä mainittujen lisäksi menetelmälle on mahdollista käyttää toista nimeä - oliotarkistus.
Pintapiirteillä tarkoitetaan mitä tahansa sen kohokuvion elementtejä, jotka näyttävät laajassa mielessä kukkulalta tai kuopasta. Esimerkkejä pinnan ominaisuuksista (objekteista) ovat: atomit , välit , molekyylit , rakeet , nanohiukkaset , klusterit , kristalliitit , kvanttipisteet , nanosaaret , pylväät , huokoset , lyhyet nanolangat , lyhyet nanosauvat , lyhyet nanoputket , virukset , bakteerit , organellit , solut jne. P.
OOS on tarkoitettu pinnan topografian (ks. kuva) sekä sen muiden ominaisuuksien ja ominaisuuksien tarkkaan mittaukseen. Lisäksi OOS mahdollistaa suuremman spatiaalisen resoluution kuin perinteisellä skannauksella. Useiden OOS-järjestelmään sisäänrakennettujen temppujen ansiosta ei käytännössä esiinny lämpöliikumisen ja virumisen aiheuttamia vääristymiä ( creeps ) .
FOS:n sovellukset: pintametrologia , tarkkuuskoettimen paikannus, automaattinen pinnan karakterisointi, automaattinen pinnan modifiointi/stimulointi, nanoobjektien automaattinen manipulointi, alhaalta ylös nanoteknologiset kokoonpanoprosessit, analyyttisten ja teknisten koettimien koordinoitu ohjaus monikoettimissa, atomien/ molekyylikokoonpanijat , ohjauskoettimen nanolitografiat jne.
1. RV Lapshin. Ominaisuussuuntautunut skannausmetodologia koetinmikroskoopiaan ja nanoteknologiaan // Nanoteknologia : Journal. - UK: IOP, 2004. - Voi. 15 , ei. 9 . - s. 1135-1151 . — ISSN 0957-4484 . - doi : 10.1088/0957-4484/15/9/006 . ( Venäläinen käännös saatavilla Arkistoitu 14. joulukuuta 2018 Wayback Machinessa ).
2. RV Lapshin. Automaattinen ajautumisen eliminointi koetinmikroskooppikuvissa, joka perustuu vastaskannaus- ja topografisten piirteiden tunnistustekniikoihin // Mittaustiede ja -tekniikka : päiväkirja. - UK: IOP, 2007. - Voi. 18 , ei. 3 . - s. 907-927 . — ISSN 0957-0233 . - doi : 10.1088/0957-0233/18/3/046 . ( Venäläinen käännös saatavilla Arkistoitu 15. joulukuuta 2018 Wayback Machinessa ).
3. RV Lapshin. Ominaisuussuuntautunut pyyhkäisyanturimikroskopia // Encyclopedia of Nanoscience and Nanotechnology (englanniksi) / HS Nalwa. - USA: American Scientific Publishers, 2011. - Voi. 14. - s. 105-115. — ISBN 1-58883-163-9 .
4. R. Lapshin. Ominaisuussuuntautunut pyyhkäisyanturimikroskopia: tarkkuusmittaukset, nanometriologia, alhaalta ylöspäin suuntautuva nanoteknologia // Elektroniikka: tiede, teknologia, liiketoiminta : päiväkirja. - Venäjän federaatio: Technosfera, 2014. - Erikoisnumero “50 vuotta NIIFP:tä” . - S. 94-106 . — ISSN 1992-4178 .
5. RV Lapshin. Mikroskoopin anturiskannerin ajautuma-herkkä hajautettu kalibrointi nanometrialueella: Lähestymistavan kuvaus // Applied Surface Science : Journal. — Alankomaat: Elsevier BV, 2015. — Voi. 359 . - s. 629-636 . — ISSN 0169-4332 . - doi : 10.1016/j.apsusc.2015.10.108 .
6. RV Lapshin. Mikroskoopin anturiskannerin ajautuma-herkkä hajautettu kalibrointi nanometrialueella: Virtuaalitila // Applied Surface Science : Journal. — Alankomaat: Elsevier BV, 2016. — Voi. 378 . - s. 530-539 . — ISSN 0169-4332 . - doi : 10.1016/j.apsusc.2016.03.201 .
7. R. V. Lapshin. Mikroskoopin anturiskannerin ajautuma-herkkä hajautettu kalibrointi nanometrialueella: Real mode // Applied Surface Science : Journal. — Alankomaat: Elsevier BV, 2019. — Voi. 470 . - s. 1122-1129 . — ISSN 0169-4332 . - doi : 10.1016/j.apsusc.2018.10.149 .
8. R.V. Lapshin. Ominaisuussuuntautuneen pyyhkäisyanturimikroskopian saatavuus kauko-ohjattavia mittauksia varten avaruuslaboratoriossa tai planeettatutkimuskoneessa // Astrobiology : Journal. - USA: Mary Ann Liebert, 2009. - Voi. 9 , ei. 5 . - s. 437-442 . — ISSN 1531-1074 . - doi : 10.1089/ast.2007.0173 .
9. R. V. Lapshin (2014). "Kuusikulmaisen ylärakenteen havainnointi pyrolyyttisellä grafiitilla piirrekohtaisella pyyhkäisytunnelimikroskoopilla" (PDF) . XXV Venäjän elektronimikroskopiakonferenssi (RCEM-2014) . 1 . 2.-6. kesäkuuta, Chernogolovka, Venäjä: Venäjän tiedeakatemia. s. 316-317. ISBN 978-5-89589-068-4 . Arkistoitu 14. joulukuuta 2018 Wayback Machinessa
10. DW Pohl, R. Möller. "Tracking" tunnelimikroskopia (englanniksi) // Review of Scientific Instruments : päiväkirja. - USA: AIP Publishing, 1988. - Voi. 59 , ei. 6 . - s. 840-842 . — ISSN 0034-6748 . - doi : 10.1063/1.1139790 .
11. BS Swartzentruber. Pinnan diffuusion suora mittaus atomin seurantapyyhkäisytunnelimikroskoopilla // Physical Review Letters : Journal . - USA: American Physical Society, 1996. - Voi. 76 , nro. 3 . - s. 459-462 . — ISSN 0031-9007 . - doi : 10.1103/PhysRevLett.76.459 .
12. S. B. Andersson, D. Y. Abramovitch (2007). "Tutkimus ei-rasteriskannausmenetelmistä, joita voidaan soveltaa atomivoimamikroskopiaan" . Amerikan valvontakonferenssin (ACC '07) asiakirjat . 9.–13. heinäkuuta, New York, USA: IEEE. s. 3516–3521. DOI : 10.1109/ACC.2007.4282301 . ISBN 1-4244-0988-8 . Arkistoitu 14. joulukuuta 2018 Wayback Machinessa
Pyyhkäisykoettimen mikroskopia | ||
---|---|---|
Mikroskooppien päätyypit | ||
Muut menetelmät |
| |
Laitteet ja materiaalit | ||
Katso myös |