Tyhjiöventtiilit ovat putkiventtiilejä , jotka varmistavat toimintojensa suorituskyvyn alle 0,1 MPa (1,0 kgf / cm² ) käyttöpaineissa [1] . Se sisältää apulaitteita, yleensä tyypillisiä tyhjiöjärjestelmien laitteita , mukaan lukien: [2]
Tyhjiöliittimet vaativat kaikkien osien ja liitosten erittäin suurta tiiviyttä ja erittäin pientä kaasuerotusta seinistä ja tiivisteistä . Matalan tyhjiöliitosten liitokset on tiivistetty tyhjiökumitiivisteillä, liikkuvat tangot on tiivistetty erikoisrakenteisilla tiivisteholkeilla . Korkea- ja ultrakorkeassa tyhjiöjärjestelmissä palkeita käytetään yleisesti tankojen siirtämiseen ; ultrakorkean tyhjiön liittimien tiivisteet on valmistettu erityislaatuisista lämmönkestävästä kumista, tietyistä muovityypeistä ja sitkeistä metalleista [2] .
Tyhjiöventtiilien ja sulkimien käyttö voi olla manuaalinen (nimitykset vastaavasti KSVR, ZSVR), sähköpneumaattinen (KSVP, ZSVP), sähkömagneettinen (KSVM) [3] .
Teoreettinen (molekyylimoodissa) johtavuus U , l / s ilmalle ( M = 28,8, T = 300 K ) on: [3]
Kaasuvirrat viskoosisessa ja molekyyliviskositeettijärjestelmässä voidaan laskea samankaltaisuusteorian perusteella ; geometrisesti samankaltaisissa järjestelmissä johtavuus riippuu poikkileikkausalasta, tehollisen pituuden ja halkaisijan suhteesta, kaasun adiabaattisesta indeksistä , Kn -luvusta ja vähemmässä määrin Re- ja M -luvuista [4 ] .