Subroughness ( eng. subroughness ) - pinnan pinnan karheuden muodostumiseen osallistuvien pienimpien elementtien mikroreliefi .
Subkarheus havaitaan nykyaikaisilla tarkkuusmenetelmillä ja pintatutkimuksen keinoilla, kuten pyyhkäisytunnelointi- ja atomivoimamikroskoopeilla , joiden resoluutio on luokkaa 1-10 nm . Subkarheus muodostuu pinnan epäsäännöllisyyksistä, joiden ominaismitat ovat korkeudeltaan noin 1–100 nm ja jakovälit 10–1000 nm. Subkarheuden muodostuminen liittyy läheisesti kiinteän kappaleen sisäiseen rakenteeseen, sen vaurioihin sekä pinnan vuorovaikutusprosesseihin ympäristön kanssa ( hapetus , adsorptio ).