Solid-phase epitaxy lyhenne, TFE ( eng. solid phase epitaxy abbr., eng. SPE ) on menetelmä epitaksiaalisen kalvon kasvattamiseksi, jossa epäjärjestynyt (amorfinen) kalvo kerrostetaan ensin alhaisessa lämpötilassa, minkä jälkeen se levitetään kiteytyi korkeammissa lämpötiloissa (joka kuitenkin on tämän materiaalin sulamispisteen alapuolella).
Tavallisesti kiinteäfaasinen epitaksi tehdään kerrostamalla amorfinen kalvo yksikidealustalle . Sitten alustaa kuumennetaan, minkä seurauksena kalvo kiteytyy. Eräänä kiinteän faasin epitaksian muodoista pidetään hehkutusta , jota käytetään ioni-istutuksella amorfoitujen piikerrosten uudelleenkiteyttämiseen . Tämän prosessin aikana epäpuhtauksien erottumista ja uudelleenjakautumista tapahtuu kasvavan amorfisen kerroksen rajalla. Tätä menetelmää käytetään piin huonosti liukenevien epäpuhtauksien lisäämiseen [1] .